1 | Max.radni pritisak 20,6 Mpa. |
2 | Max.radna temperatura 204 ℃ (Okruženje visoke temperature do 454 ℃, u ovom trenutku zaptivni materijal je zamenjen ekspandiranim grafitom) |
3 | Sistem filtera Primjenjivi su zagađivači čestica, plinovi, tekućine. |
4 | Sinterirani filter od nehrđajućeg čelika u prahu, preciznost filtera 2μm~40μm |
5 | Protok filtera 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter se može promijeniti. |
Karakteristike proizvoda Filter
1 | Širok raspon primjene, raspon protoka od 15 do 300SL / min. |
2 | Ima dobru kompatibilnost s većinom poluvodičkih procesnih plinova visoke čistoće. |
3 | Kapacitet filtracije od 3 nanočestice održava visoku efikasnost protoka i ultra-mali pad pritiska. |
4 | 5Ra elektropolirana površina može spriječiti unutrašnje zagađenje. |
5 | Pecite s vrućim dušikom nakon deionizirane vode kako biste zadovoljili standarde poluprovodničkog procesa. |
6 | Aseptična radionica za proizvodnju, čišćenje i pakovanje na 1000 nivoa bez prašine. |
7 | Testirajte 100% curenje helijuma. |
Ulaz | Outlet | |
1 | 1/8″ cijevni priključak | 1/8″ cijevni priključak |
2 | 1/4″ cijevni priključak | 1/4″ cijevni priključak |
3 | 3/8″ cijevni priključak | 3/8″ cijevni priključak |
4 | 1/2″ cijevni priključak | 1/2″ cijevni priključak |
5 | Priključak za cijev 6MM | Priključak za cijev 6MM |
6 | Priključak za cijev 8MM | Priključak za cijev 8MM |
7 | 10MM cijevni priključak | 10MM cijevni priključak |
8 | 12MM cijevni priključak | 12MM cijevni priključak |
9 | 1/8″ ženski NPT | 1/8″ ženski NPT |
10 | 1/4″ ženski NPT | 1/4″ ženski NPT |
11 | 1/4″ muški NPT | 1/4″ muški NPT |
12 | 3/8″ muški NPT | 3/8″ muški NPT |
13 | 1/2″ muški NPT | 1/2″ muški NPT |
Parametri performansi proizvoda filtera
1 | Preciznost filtriranja | ≥0,0025μm | |
2 | Efikasnost filtriranja | Stopa uklanjanja99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Nazivni protok | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Sastav filtera | filter element | 316L/PTFE |
9 | stanovanje | nerđajući čelik 316L | |
10 | Uslovi rada | Maksimalni ulazni pritisak | 21Mpa (310 kgf/cm2) |
11 | Maksimalni diferencijalni pritisak | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Maksimalna radna temperatura | 430 ℃ (inertni gas) | |
13 | Stopa curenja helijuma | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Završna obrada | ≤Ra 5μin |