Oprema za obradu plina može se nositi sa gasovima koji se koriste u procesima za otkazivanje i hemijskih pare u poluvodiču, tekućim kristalnim industrijama i solarnim energetskim industrijama, uključujući SIH4, SIH2CL2, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, N2O, i tako dalje.
Metoda obrade izduvnih gasova
Prema karakteristikama pročišćavanja ispušnog plina, tretman se može podijeliti u četiri vrste tretmana:
1. Vrsta pranja vode (obrada korozivnih gasova)
2. Tip oksidacije (koji se bavi zapaljivim i otrovnim gasovima)
3. Adsorpcija (prema vrsti adsorpcijskog materijala za rješavanje odgovarajućeg ispušnog plina).
4.Plazmati se može se liječiti sagorijevati (sve vrste izduvnih gasova).
Svaka vrsta liječenja ima svoje prednosti i nedostatke kao i njegov opseg primjene. Kada je metoda liječenja pranje vode, oprema je jeftina i jednostavna, te mogu se baviti samo vodopuljivim plinovima; Raspon primjene električnog vrsta vode veći je od one vrste pranja vode, ali operacijski trošak je visok; Suv tip ima dobru efikasnost liječenja i nije primjenjiva na protok plina koji se lako začepljuje ili teče.
Hemikalije i njihovi nusproizvodi koje se obično koriste u poluvodičkoj industriji mogu se kategorizirati prema njihovim hemijskim svojstvima i njihovim različitim rasponima:
1. Zapaljivi gasovi poput SIH4H2, itd.
2. Toksični plinovi poput ASH3, PH3 itd.
3. Korozivni gasovi poput HF, HCl itd.
4. Glazbeni plinovi poput CF4, NF3 itd.
Budući da su gornja četiri plina štetna za okoliš ili ljudsko tijelo, mora spriječiti njegovu izravnu emisiju u atmosferu, pa je općih poluvodičkih gasova, ali njegov je sistem ograničen na vodene plinove u vodi i ne može se baviti neprestanim i suptilnim dijeljenjem izduvnih plina na poluvodiču. Stoga je potrebno odabrati i podudarati odgovarajuću opremu za obradu ispušnih plinova prema karakteristikama plina izvedenih iz svakog postupka kako bi se riješio problem ispušnog plina na mali način. Kako je radno područje uglavnom daleko od središnjeg sustava za pročišćavanje izduvnih gasova, često zbog kristalizacije ili akumulacije prašine u plinovodu, što je rezultiralo začepljenjem cjevovoda, a u ozbiljnim slučajevima, čak i uzrokuje eksploziju, ne može osigurati da radna sigurnost osoblja ne može osigurati i da se u eksploziji ne može osigurati sigurnost osoblja. Stoga u radnom području treba konfigurirati malu opremu za obradu ispušnih plinova pogodnih za karakteristike processnog plina, kako bi se smanjio stagnalan ispušni plin u radnom području, kako bi se osigurala sigurnost osoblja.
Pošta: avgust-10-2023