Upotreba plinova u industriji poluvodiča datira u ranim 1950-ih do 1960-ih. Tokom procesa proizvodnje poluvodiča, plinovi se uglavnom koriste za čišćenje i zaštitu poluvodičkih materijala kako bi se osigurala njihova čistoća i kvalitet. Među najčešće korištenim plinovima su dušik i vodonik.
Kao što se razvijeni poluvodički tehnologija i procesi proizvodnje nastavili su poboljšati, povećana je potražnja za gasovima. 1970., daljnji razvoj tehnologije proizvodnje poluvodiča, primjena gasova u ključnim procesima poput titra i taloženja tankih filmova postepeno se povećava, te plinovi fluorida (npr. SF6) i kisik postali su gasovi za otkucavanje i izložbu. 1980. godine je vidio daljnje povećanje potražnje za gasovima sa razvojem integriranih krugova i povećanjem potražnje za njima. Vodonik se široko koristio u procesu proizvodnje, uključujući i uvođenje vodika i taložnog vodika. A od 1990. do danas, potražnja za visokim gasovima i specifičnim gasovima povećana se kao poluvodičke veličine uređaja i dalje se smanjuju i uvode se novi procesi. Na primjer, primjena ekstremne ultraljubičastoj litografije (EUV) zahtijeva korištenje izuzetno visokih plinova poput dušika i vodika.
Poluprovodnički gas se i dalje povećava sa razvojem povezanih snimkim proizvodima koje su više i više proizvoda, dok su se i na plinu, tako da su proizvodi koji se koriste za dekompresiju plina, gasnih ventila, dimenzija plina, itd. Itd. Itd. I njihove uloge su sljedeći:
Regulatori pritiska: regulatori pritiska su uređaji koji se koriste za kontrolu pritiska plina. Obično se sastoje od regulatornog ventila i senzora pritiska. Regulatori pritiska uzimaju ulaz za plin visokog pritiska i stabiliziraju pritisak izlaznog plina prilagođavajući ventil za ispunjavanje specifičnih zahtjeva za aplikacije. Regulatori pritiska široko se koriste u područjima poput industrije, proizvodnje i laboratorija, kao i u poluvodičkoj industriji, između ostalog, kako bi se osigurala stabilnost i sigurnost opskrbe plinom.
Plinski ventili: plinski ventili koriste se za kontrolu protoka gasova i zatvaranje gasnih prolaza. Obično imaju funkciju uključivanja / isključivanja koja otvara ili zatvara protok plina. Postoje različite vrste plinskih ventila, uključujući ručne ventile, električne ventile i pneumatske ventile. Široko se koriste u plinskim sustavima za kontrolu protoka, pritiska i protoka plinova.
Mjerači pod pritiskom plina: Mjerači tlaka plina koriste se za mjerenje nivoa pritiska plina. Obično su instalirani na kritičnim lokacijama u plinskim sustavima za praćenje promjena tlaka i osigurati da su unutar sigurnih ograničenja. Mjerači na plinski tlak široko se koriste u industriji, proizvodnji i laboratorijama, a uključena je i poluvodička industrija.
Detektori propuštanja plina: Detektori propuštanja plina koriste se za otkrivanje propuštanja u plinskim sustavima. OtkrivajuPrisutnost curenja plina i zvuči alarm tako da se može poduzeti pravovremena akcija kako bi se spriječilo nezgode za curenje. Detektori propuštanja plina široko se koriste u industrijskim, hemijskim, hemijskim, naftnim i plinskim aplikacijama, a uključena je i poluvodička industrija.
Pošta: Feb-20-2024