Kako tržište poluvodiča raste, standardi za čistoću i tačnost postaju strožiji. Jedan od utvrđivih faktora u kvaliteti proizvodnje poluvodiča su gasovi koji se koriste u procesu. Ovi plinovi igraju mnoge uloge u procesu proizvodnje, uključujući:
Precizna kontrola procesa
Prevencija kontaminacije
Poboljšanje metalurškog imovine
Da bi ove uloge učinkovito izveli, sustav opskrbe i distribucije plina mora biti efikasan. Dizajn sustava za rukovanje plinom koji se koriste u proizvodnji poluvodiča moraju biti podržani robusnim komponentama i prilagođenim sklopovima kako bi se osigurala pouzdana i kvalitetna proizvodnja poluvodiča.
Gasovi koji se koriste u proizvodnji poluvodiča
Proces proizvodnih poluvodiča zahtijeva upotrebu različitih plinova u različitim fazama procesa.
Dok se u čistom obliku mogu koristiti zajednički plinovi poput dušika, vodika, argona i helija, u svom čistom obliku, određeni procesi mogu zahtijevati specijalizirane mješavine. Silans ili siloksane, heksafluoridi, halogenici i ugljikovodici nekoliko su specijalnih gasova koji se koriste u proizvodnji poluvodiča. Mnogi od ovih plinova mogu biti opasni ili vrlo reaktivni, stvarajući izazove u odabiru i dizajnu komponenti za plinske sisteme.
Evo nekoliko primjera:
\ Hidrogen i helijum mogu lako procuriti iz cevovoda i ugradbenih sistema zbog male atomske veličine i težine.
\ Silanes su vrlo zapaljivi i mogu se spontano sagorijevati (autoignate) u zraku.
\ Azotni difluorid koji se koristi u taložima, etaže i faze čišćenja komore postaje moćan staklenički plin kada je procurio u okoliš.
\ Vodik fluorid (jetkarski plin) vrlo je korozivan za metalne cjevovode.
\ Trimetilgallium i amonijak mogu se teško nositi - male fluktuacije u njihovim zahtjevima temperature i pritiska mogu utjecati na postupak taloženja.
Kontroliranje uslova procesa za minimiziranje negativnih efekata ovih plinova moraju biti glavni prioritet tokom dizajna sistema. Jednako je važno koristiti najkvalitetnije komponente poput AFK dijafragme ventila tokom procesa izrade.
Izazovi dizajna sistema adresiranja
Gasovi za poluvodiču u većini slučajeva visoke čistoće i pružaju inertne uvjete ili poboljšavaju reakcije u različitim fazama proizvodnog procesa, kao što su ETCH i taložni plinovi. Propuštanje ili kontaminacija takvih gasova mogu imati negativne efekte. Stoga je kritično za komponente sustava koje se koriste hermetički zapečaćene i otporne na koroziju, kao i glatku površinu (elektrolitičko poliranje) kako bi se osiguralo da se može održavati izuzetno visok nivo čistoće.
Pored toga, neki od ovih plinova mogu se zagrijati ili ohladiti kako bi se postigli željeni procesni uvjeti. Dobro izolirane komponente osiguravaju kontrolu temperature, što je kritično za efikasne performanse konačnog proizvoda.
Iz izvornog ulaza do točke upotrebe, širok raspon komponenti AFK-a podržava ultra visoku čistoću, temperaturu, pritisak i kontrolu protoka potrebne u poluvodičkim čistačima i vakuumskim komorama.
Dizajnirani sustavi sa kvalitetnim komponentama u poluvodičkim fabtovima
Uloga kvalitetnih komponenti i optimizacije dizajna kritična je za preciznu kontrolu i sigurnu proizvodnju poluvodiča. Komponente koje koriste moraju biti robusne i propuštajuće da bi se podudaraju s različitim procesnim uvjetima potrebnim u različitim fazama proizvodnje.AFK-ovi visokokvalitetnih ventila, armatora, regulatora, cjevovoda i zagradama za brtvljenje karakteristično su sljedećim karakteristikama:
Ultra visoka čistoća
Brtve bez propuštanja
Izolacija kontrolirana temperaturom
Kontrola pritiska
Otpornost na koroziju
Tretman elektrolitičkog poliranja
Vrijeme objavljivanja: oktobar-09-2023