Proces proizvodnje elektroničkih specijalnih plinova uključuje nekoliko procesa kao što su sinteza, pročišćavanje, popunjavanje, analize i testiranje, miješanje i proporcionalno. Da bi se zadovoljili zahtjevi za proizvodnju poluvodiča u nizvodnoj industriji za čistoću i nečistoću, proces pročišćavanja je vrlo važan. Ovisno o kompoziciji plina ili sirovog plina uzvodno sinteze, izvrši se niska temperatura destilacija ili višestepena pročišćavanje.
Visok zahtjevi za čistoće
Proces pripreme elektroničkih specijalnih plinova može se podijeliti u dva glavna bloka u pripravnosti i pročišćavanja u toku od uststream sinteze, koja pripada procesu hemijskog proizvodnje. Veličina proizvodnog cjevovoda je velika, a ne postoji posebna zahtjeva za čistoću. Nakon pročišćavanja nizvodno, proizvod je ispunjen plinom i miješanjem za pripremu. Proizvodni cjevovod je mali i ima zahtjeve za čistoće. Potrebno je ispuniti standardnu specifikaciju procesa proizvodnje poluvodiča.
Visoki zahtjevi za brtvljenje
Zbog svoje hemijske aktivnosti, elektroničke specijalne gasove takođe postavljaju visoke zahteve materijalima i zaptivanju sistema procesa proizvodnje. Baš kao i zahtjevi za proizvodnju poluvodiča, sprečava istjecanje sučelja uzrokovano uvođenjem nečistoća ili korozije posebnih gasova. Sustav se može koristiti i za sprečavanje uvođenja nečistoća ili curenja sučelja uzrokovanog korozijom posebnih gasova.
Visokokvalitetni zahtjevi za stabilnost
Kvaliteta elektroničkih specijalnih gasova uključuje brojne pokazatelje kao što su čistoć i sadržaj čestica nečistoće. Svaka promjena u pokazateljima utječe na rezultate procesa proizvodnje poluvodiča. Stoga, kako bi se osiguralo dosljednost elektronskih pokazatelja posebnih gasa, sustav za pripremu za kontrolu stabilnosti pokazatelja također je vrlo važan.
Zbog hemijske aktivnosti i potreba za kvalitetom EGP, priprema za proizvodnju EGP, posebno za pročišćavanje pustinja, mora ispunjavati zahtjeve visokog čistoće materijala, visoke konzistentnosti i visokokvalitetne komponente moraju ispunjavati standarde industrije proizvodnje poluvodiča.
Ono što se obično odnosimo kao "visoke čistoće" teoretski je definicija čistoće tvari, poput visokih gasova, hemikalija visoke čistoće itd. Procesni sustavi ili komponente procesa koji se primjenjuju na visoke čistoće sustave, poput visoko-čistoće ventila i ventila visoke čistoće i ventili visoke čistoće i ventili visoke čistoće. Elektronski sustavi za pripremu plina zahtijevaju primjenu visoke čistoće, ventile i druge komponente tekućine, tj. Priključci i ventile koji se obrađuju sa materijalima visoke čistoće i čistim proizvodnim procesima, te su strukturirani za lako čišćenje i čišćenje. Sa visokim brtvenim performansama. Ove komponente tečnosti dizajnirane su tako da ispunjavaju put protoka procesa aplikacije, koristeći inženjerske i građevinske potrebe industrije poluvodiča.
Priključci za cjevovod visoke čistoće
VCR Metal brtvene veze i automatski vodič za zavarivanje zavarivanje se široko koriste u zahtjevima za čistoću tekućine čistoće sustava zbog mogućnosti ispunjavanja staze protoka na vezu, bez stagnacijske performanse i visoko brtvene performanse.VCR priključci formiraju relativno meku meknu brtvu. Ponovljiva i dosljedna veza i performanse za brtvljenje su osigurani svaki put kada se ukloni deformirana brtva i zamijenjena.
Cijevi su zavareni pomoću automatskog orbitalnog sistema za zavarivanje. Cijev je zaštićen visokim čistoćom plinom iznutra i izvana. Volfram elektroda se okreće duž orbite za kvalitetno zavarivanje. Potpuno automatizirani orbitalni zavarivanje topi cijev bez uvođenja drugih materijala, postizanje visokokvalitetnog zavarivanja opetovanom kontrolom tankog zida, teško je postići ručnim zavarivanjem.
VCR metalna brtva za brtvu za lice
Automatska orbitalna stražnji zavarivanje cijevi
Ventili visoke čistoće
Hemijska aktivnost zapaljivih, eksplozivnih, korozivnih i toksičnih elektronskih gasova za elektronike postavlja velike zahtjeve za brtvljenje ventila. Da bi se poboljšala pouzdanost pouzdanosti, potreba za pakiranjem ventila kako bi se spriječilo vanjsko curenje, odnosno miješanje stabljike ventila i tijela ventila između brtve ili metalne dijafragme, kako bi se eliminiralo curenje zbog obroka za brtvljenje abrazije i pakiranja. Bellows-brtveni ventili i zaptiveni ventili se obično koriste u procesnim sistemima za primjenu visoke čistoće zbog veće pouzdanosti brtva i lakše čišćenja i pročišćavanja zamena internala ventila.
Bellows-brtveni ventili su ambalažni igle konstrukcija ventila koja omogućava sporo otvaranje i regulaciju protoka. Koristi se za elektroničko punjenje plina sa sigurnosnim protočnim zahtjevima ili na boce od izvora prekursora sa visokim sigurnosnim zahtjevima. Sve-metalne nožne pečate omogućavaju izuzetno niske radne temperature i koriste se za kriogeno ukapljivanje elektronskih specijalnih gasova u gotovim cisternama proizvoda nakon kriogene destilacije za cjevovod.
Spriblindless Diafragm ventil za brtvljenje je 1/4 "snap-otvoren ventil za upotrebu kao automatski kontrolirani preklopni ventil u cijevima za dostavu. Obično se koriste u ultra visokim pritiskom, visokostirnim aplikacijama zbog njihovog jednostavnog unutarnjeg staze protoka, male unutarnje jačine zvuka i jednostavnosti čišćenja i zamjene.
Dijafragm-zapečaćeni ventili koji se zatvaraju preko stabljičnog vrha mogu se polako otvoriti i koristiti se pri višim radnim pritiscima od neprogledatih dijafragme-brtvenih ventila. Široko se koriste na elektroničkoj specijalnoj plinskoj plinskoj plinskoj plinskoj plinu ili boce za punjenje prekursora.
Sekundarni brtvinski ventil ne može se koristiti samo u ultra niskim procesnim sustavima temperature na -200 stepeni, ali također sprečava curenje opasnih medija u atmosferu. Obično se koristi za vrlo opasne elektronske posebne gasove, poput silanskih sistema za punjenje.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, sa preko 10 godina iskustva u opskrbi industrijskim i specijalnim gasovima, sistemima za opskrbu plinom i plinskom inženjerstvu za poluvodiču, LED, DRAM, TFT-LCD tržišta, možemo vam pružiti potrebne materijale za guranje vaših proizvoda u prvom planu industrije. Ne možemo samo opskrbiti široku paletu ventila i armatura za poluprovodničke elektronske specijalne gasove, ali možemo dizajnirati i plinsku cjevovodu i opremu za naše kupce. Ako imate bilo kakve potrebe u ovom području, obratite nam se na 27919860.
Vrijeme objavljivanja: jul-19-2023