Tehnologija cjevovodske plinove visoke čistoće važan je dio visokoprostornog sustava za opskrbu plinovima, što je ključna tehnologija za pružanje potrebnog plina visokog čistoće do točke upotrebe i još uvijek održava kvalificirani kvalitet; Tehnologija cjevovoda plinske plinove uključuje ispravan dizajn sustava, odabir fitinga i pribora, izgradnje i instalacije i ispitivanja. Posljednjih godina, sve strogih zahtjeva za čistoću i nečistoću plinova u proizvodnji mikroelektronskih proizvoda predstavljenih velikim integriranim krugovima učinili su tehnologiju cjevovoda koji se sve više brine i naglašeni. Slijedi kratak pregled plinovog cjevovoda visoke čistoće iz odabira materijalaof Izgradnja, kao i prihvatanje i svakodnevno upravljanje.
Vrste uobičajenih gasova
Klasifikacija zajedničkih gasova u industriji elektronike:
Uobičajeni gasovi(Rasuti gas): vodonik (h2), azot (n2), kisik (o2), Argon (a2), itd.
Specijalni gasovisu SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6...... itd.
Vrste posebnih gasova uglavnom se mogu klasificirati kao korozivnoplin, toksičanplin, zapaljivplin, zapaljivplin, inertplin, itd. Najčešće korišteni poluvodički gasovi uglavnom su klasificirani na sljedeći način.
(i) korozivno / toksičnoplin: HCl, bf3, WF6, HBR, SIH2Cl2, NH3, Ph3, CL2, BCL3... itd.
(ii) Zapaljivostplin: H2, Ch4, SIH4, Ph3, Ash3, SIH2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, co ... itd.
(iii) zapaljivostplin: O2, CL2, N2O, nf3... itd.
(iv) inertniplin: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, on ... itd.
Mnogi poluvodički gasovi štetni su za ljudsko tijelo. Konkretno, neki od ovih gasova, poput SIH4 Spontano izgaranje, sve dok curenje će silovito reagirati sa kisikom u zraku i počnite da gori; i pepeo3Visoko je toksično, bilo koje blago curenje može uzrokovati rizik od ljudskog života, to je zbog tih očiglednih opasnosti, tako da su zahtjevi za sigurnost dizajna sustava posebno visoki.
Primjena opsega plinova
Kao važnu osnovnu sirovinu moderne industrije, široko se koriste plinski proizvodi, a u metalurgiji, čeliku, nafti, hemijskoj industriji, proizvodima, elektroniku, staklo, keramici, prehrambenim materijalima, građevinskim materijalima, prehrambenim proizvodima, prehrambenim proizvodima. Primjena plina ima važan utjecaj na visoku tehnologiju ovih polja, posebno jeste neophodan sirovijski plin ili procesni plin. Samo uz potrebe i promociju različitih novih industrijskih sektora i moderne nauke i tehnologije, proizvodi za plinske industrije mogu se razviti skokovima i granicama u pogledu raznolikosti, kvalitete i količine.
Primjena plina u mikroelektroniku i poluvodiču
Upotreba plina je oduvijek igrala važnu ulogu u poluvodičkim postupku, posebno u raznim industrijama, od tradicionalnog ULSI, TFT-LCD-a u trenutne mikro-elektro-mehaničke (MEMS) industrije, a sve koriste takozvani poluvodički proces kao proizvodni proces proizvoda. Čistoća plina ima presudan utjecaj na obavljanje komponenti i prinosa proizvoda, a sigurnost opskrbe plinom odnosi se na zdravlje osoblja i sigurnosti postrojenja.
Značaj cjevovoda visokog čistoće u transportu plina visokog čistoće
U procesu topljenja i materijala od nehrđajućeg čelika, oko 200 g plina može se apsorbirati po toni. Nakon prerade nehrđajućeg čelika, ne samo da je njegova površina ljepljiva s raznim kontaminantima, već i u metalnoj rešetki također su apsorbirali određenu količinu plina. Kad doživljaj protok zraka kroz cjevovod, metal apsorbuje ovaj dio plina ponovno će ući u protok zraka, zagađivati čisti plin. Kad je protok zraka u cijevi, cijev adsorbuje plin pod pritiskom, a kada se protok zraka prestane prolazi, plin adsorbiran cijevi, a kapljica tlaka u rješavanju, a riješeni plin u cijevi u cijevi u cijevi ulazi kao nečistoće. Istovremeno, adsorpcija i rezolucija se ponavljaju, tako da metal na unutrašnjoj površini cijevi proizvodi određenu količinu praha, a ove čestice od metala zagađuju čisti plin unutar cijevi. Ova karakteristika cijevi je neophodna za osiguravanje čistoće transportnog plina, za koje ne zahtijeva ne samo vrlo visoku glatkoću unutarnje površine cijevi, već i visoku otpornost na habanje.
Kada se koristi plinom snažnim korozivnim performansama, cijevi od nehrđajućeg čelika otporne na koroziju moraju se koristiti za cjevovode. Inače će cijev proizvesti korozijske mrlje na unutrašnjoj površini zbog korozije, a u ozbiljnim slučajevima će biti veliko područje odvajanja metala ili čak perforacija, što će kontaminirati čisti plin koji će se distribuirati.
Priključak visokog čistoće i visoko čistoći i distributivni plinovi i distributivni cjevovodi velikih protoka.
U principu su svi zavareni, a korištene cijevi su potrebne za promjenu organizacije kada se primjenjuje zavarivanje. Materijali sa previsokom sadržajem ugljika podložan je propustljivosti zraka zavarenih dijelova prilikom zavarivanja, što izrađuje međusobnu prodiranje plinova unutar i izvan cijevi i uništava čistoću, suhoću i čistoću prenesenog plina, što rezultira gubitkom svih naših napora.
Ukratko, za plin visokog čistoće i posebnog prenosa plina, potrebno je koristiti posebnu cijev od nehrđajućeg čelika visoke čistoće, kako bi napravili cjevovodnog cjevovoda (uključujući cijevi, pribor, ventile, VMB, VMP) u distribuciji visokog čistoće, u distribuciji visokog čistoće zauzima vitalnu misiju.
Opći koncept čiste tehnologije za prijenos i distribuciju cjevovoda
Visoko čisti i čisti prijenos plinskog tijela s cijevima znači da postoje određeni zahtjevi ili kontrola za transport tri aspekta plina.
Čistoća plina: Sadržaj nečistoće atmosfere u čistoći gga: Sadržaj nečistoće atmosfere u plinu, obično izraženo kao postotak čistoće pline, kao što je 99.9999%, takođe izraženo kao omjer volualne atmosfere u PPM-u, ppb, ppm.
Suhoća: količina vlage u tragovima u plinu ili količinu koja se zove vlažnost, obično izražena u smislu tačke rose, poput atmosferske tlačne rose po tačke -70. C.
Čistoća: Broj čestica zagađenja sadržanih u plinu, veličine čestica μm, koliko čestica / m3 izraze, za komprimirani zrak, obično izraženo u smislu MG / m3 neizbježnih čvrstih ostataka, koji pokriva sadržaj ulja.
Klasifikacija veličine zagađivača: zagađivane čestice, uglavnom se odnose na plinovod, habanje, koroziju proizvedene metalnim česticama, atmosferskim česticama sa čađom, kao i mikroorganizmi, na fage i kapljice kondenzacije koji sadrže vlagu, itd., Prema veličini veličine čestica podijeljena je u
a) Velike čestice - veličina čestica iznad 5 μm
b) čestica - promjer materijala između 0,1 μm-5μm
c) Ultra mikro čestice - Veličina čestica manja od 0,1 μm.
Da bi se poboljšala primjena ove tehnologije, moći u mogućnosti percepterivno razumijevanje veličine čestica i μm, skup se pruža specifični status čestica za referencu
Slijedi usporedbu određenih čestica
| Ime / Veličina čestica (μm) | Ime / Veličina čestica (μm) | Ime / Veličina čestica (μm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolizirani microdrodroplet 1-12 |
| Nuklearno gorivo 0,01-0,1 | Boja 0,1-6 | Leti pepeo 1-200 |
| Carbon crni 0,01-0.3 | Mliječni prah 0.1-10 | Pesticid 5-10 |
| Smola 0.01-1 | Bakterije 0,3-30 | Cementna prašina 5-100 |
| Cigaretni dim 0.01-1 | Pješčana prašina 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pesticid 0,5-10 | Ljudska kosa 50-120 |
| Kristalizirana sol 0,03-0,5 | Koncentrirani sumporni prašinu 1-11 | Morski pijesak 100-1200 |
Vrijeme pošte: Jun-14-2022