Tehnologija cjevovoda za plin visoke čistoće važan je dio sistema snabdijevanja plinom visoke čistoće, što je ključna tehnologija za isporuku potrebnog plina visoke čistoće do mjesta upotrebe i dalje održavanje kvalifikovanog kvaliteta;Tehnologija plinskih cjevovoda visoke čistoće uključuje ispravan dizajn sistema, odabir fitinga i pribora, konstrukciju i instalaciju te ispitivanje.Posljednjih godina, sve strožiji zahtjevi za čistoćom i sadržajem nečistoća u plinovima visoke čistoće u proizvodnji mikroelektronskih proizvoda predstavljenih velikim integriranim krugovima učinili su da se tehnologija cjevovoda plinova visoke čistoće sve više brine i ističe.Slijedi kratak pregled plinskih cjevovoda visoke čistoće na osnovu odabira materijalaof izgradnju, kao i prijem i svakodnevno upravljanje.
Vrste uobičajenih plinova
Klasifikacija uobičajenih plinova u elektronskoj industriji：
Uobičajeni gasovi（Rasuti gas）: vodonik (H2), azot (N2), kiseonik (O2), argon (A2), itd.
Specijalni gasovisu SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… itd.
Vrste specijalnih gasova se generalno mogu klasifikovati kao korozivnegas, otrovnogas, zapaljivogas, zapaljivgas, inertangas, itd. Uobičajeni poluprovodnički gasovi se generalno klasifikuju na sledeći način.
(i) Korozivan/otrovangas: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…itd.
(ii) Zapaljivostgas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…itd.
(iii) zapaljivostgas: O2, Cl2, N2O, NF3… itd.
(iv) Inertangas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…itd.
Mnogi poluprovodnički gasovi su štetni za ljudski organizam.Konkretno, neki od ovih gasova, kao što je SiH4 spontano sagorevanje, sve dok curenje burno reaguje sa kiseonikom u vazduhu i počinje da gori;i AsH3visoko toksično, svako malo curenje može uzrokovati opasnost po ljudski život, upravo zbog ovih očiglednih opasnosti, pa su zahtjevi za sigurnost dizajna sistema posebno visoki.
Područje primjene plinova
Kao važna osnovna sirovina savremene industrije, plinski proizvodi imaju široku primjenu, a veliki broj uobičajenih plinova ili specijalnih plinova se koristi u metalurgiji, čeliku, naftnoj, hemijskoj industriji, mašinama, elektronici, staklu, keramici, građevinskom materijalu, građevinarstvu. , prehrambeni, medicinski i medicinski sektor.Primena gasa ima značajan uticaj na visoku tehnologiju posebno ovih polja, a njegova je neophodna sirovina gas ili procesni gas.Samo uz potrebe i promociju različitih novih industrijskih sektora i savremene nauke i tehnologije, proizvodi gasne industrije mogu se razvijati velikim koracima u pogledu raznolikosti, kvaliteta i kvantiteta.
Primjena plina u mikroelektronici i industriji poluvodiča
Upotreba plina je oduvijek igrala važnu ulogu u procesu poluvodiča, a posebno se poluvodički proces široko koristio u raznim industrijama, od tradicionalne ULSI, TFT-LCD do sadašnje mikro-elektromehaničke (MEMS) industrije, koji koriste tzv. poluprovodnički proces kao proces proizvodnje proizvoda.Čistoća gasa ima odlučujući uticaj na performanse komponenti i prinos proizvoda, a sigurnost snabdevanja gasom je povezana sa zdravljem osoblja i bezbednošću rada postrojenja.
Značaj cjevovoda visoke čistoće u transportu plina visoke čistoće
U procesu topljenja nerđajućeg čelika i izrade materijala, može se apsorbovati oko 200g gasa po toni.Nakon obrade nerđajućeg čelika, ne samo da je njegova površina ljepljiva od raznih zagađivača, već je i u metalnoj rešetki apsorbirala određenu količinu plina.Kada postoji protok vazduha kroz cevovod, metal apsorbuje ovaj deo gasa i ponovo će ući u protok vazduha, zagađujući čisti gas.Kada je protok zraka u cijevi diskontinuirani tok, cijev adsorbira plin pod pritiskom, a kada protok zraka prestane da prolazi, plin koji adsorbira cijev stvara pad tlaka da se razgradi, a otopljeni plin također ulazi u čisti plin u cijevi. kao nečistoće.Istovremeno, adsorpcija i rezolucija se ponavljaju, tako da metal na unutrašnjoj površini cijevi također proizvodi određenu količinu praha, a te čestice metalne prašine također zagađuju čisti plin unutar cijevi.Ova karakteristika cijevi je neophodna da bi se osigurala čistoća transportiranog plina, što zahtijeva ne samo vrlo visoku glatkoću unutrašnje površine cijevi, već i visoku otpornost na habanje.
Kada se koristi plin sa jakim korozivnim svojstvima, za cijevi se moraju koristiti cijevi od nehrđajućeg čelika otporne na koroziju.U suprotnom, cijev će proizvesti mrlje od korozije na unutrašnjoj površini zbog korozije, au ozbiljnim slučajevima doći će do velike površine metalnog gušenja ili čak perforacije, što će kontaminirati čisti plin koji se distribuira.
Povezivanje transportnih i distributivnih gasovoda visoke čistoće i visoke čistoće velikih protoka.
U principu, svi su zavareni, a cijevi koje se koriste ne moraju imati promjene u organizaciji kada se primjenjuje zavarivanje.Materijali s previsokim sadržajem ugljika podložni su zračnoj propusnosti zavarenih dijelova pri zavarivanju, što dovodi do međusobnog prodiranja plinova unutar i izvan cijevi i uništava čistoću, suhoću i čistoću prepuštenog plina, što rezultira gubitkom sav naš trud.
Ukratko, za gasovod visoke čistoće i specijalni gasovod, potrebno je koristiti posebnu obradu cevi od nerđajućeg čelika visoke čistoće, kako bi se napravio sistem cevovoda visoke čistoće (uključujući cevi, fitinge, ventile, VMB, VMP) u Distribucija plina visoke čistoće zauzima vitalnu misiju.
Opći koncept čiste tehnologije za prijenosne i distributivne cjevovode
Visoko čist i čist prenos gasa sa cevovodom znači da postoje određeni zahtevi ili kontrole za tri aspekta gasa koji se transportuje.
Čistoća plina: Sadržaj atmosfere nečistoće u gGas čistoća: Sadržaj atmosfere nečistoće u plinu, obično izražen kao postotak čistoće plina, kao što je 99,9999%, također izražen kao volumni omjer sadržaja nečistoće u atmosferi ppm, ppb, ppt.
Suvoća: količina vlage u tragovima u gasu, ili količina koja se naziva vlažnost, obično izražena u smislu tačke rose, kao što je tačka rose pri atmosferskom pritisku -70.C.
Čistoća: broj čestica zagađivača sadržanih u plinu, veličina čestica od µm, koliko čestica/M3 treba izraziti, za komprimirani zrak, obično se izražava i u smislu koliko mg/m3 neizbježnih čvrstih ostataka, koji pokrivaju sadržaj ulja .
Klasifikacija veličine zagađivača: čestice zagađivača, uglavnom se odnose na ribanje cjevovoda, habanje, koroziju koju stvaraju čestice metala, čestice atmosferske čađe, kao i mikroorganizmi, fagi i kapljice kondenzacije plina koje sadrže vlagu, itd., prema veličini njegove veličine je podijeljen na
a) Velike čestice – veličina čestica iznad 5μm
b) Čestica – prečnik materijala između 0,1μm-5μm
c) Ultra-mikro čestice – veličina čestica manja od 0,1 μm.
Kako bi se poboljšala primjena ove tehnologije, kako bi se moglo perceptivno razumjeti veličinu čestica i jedinice μm, za referencu je dat skup specifičnih statusa čestica
Slijedi poređenje specifičnih čestica
| Naziv /Veličina čestice (µm) | Naziv /Veličina čestice (µm) | Naziv/Veličina čestice (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosolizirana mikrokapljica 1-12 |
| Nuklearno gorivo 0,01-0,1 | Boja 0.1-6 | Leteći pepeo 1-200 |
| Čađa 0,01-0,3 | Mlijeko u prahu 0,1-10 | Pesticid 5-10 |
| Smola 0,01-1 | Bakterije 0,3-30 | Cementna prašina 5-100 |
| Cigaretni dim 0,01-1 | Peščana prašina 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pesticid 0,5-10 | Ljudska kosa 50-120 |
| Kristalizovana so 0,03-0,5 | Koncentrovana sumporna prašina 1-11 | Morski pijesak 100-1200 |
Vrijeme objave: Jun-14-2022